當前位置:大族激光科技產業集團股份有限公司>>大族激光-等離子清洗/除膠>> 真空等離子清洗機(大族激光—等離子清洗機/plasma/小型等離子清洗機/*) 表面等離子清洗機
晶圓等離子清洗機(等離子灰化/去光刻膠/聚合物剝離/預處理/介電質刻蝕
在線式自動真空等離子/進口等離子/攝像頭模組/芯片支架/芯片框架
線性等離子清洗機(低溫等離子清洗機 寬幅氮氣等離子 寬幅plasma
清洗作用:
| 名稱(Name) | 真空等離子清洗機 |
| 型號(Model) | VAC-P110L Plasma |
| 控制系統(Control system) | PLC+觸摸屏 |
| 電源(Power supply) | 380V/AC,50Hz,3KW |
| 射頻電源功率(RF Power) | 600W/13.56MHZ |
| 容量(Volume) | 110L(Option) |
| 層數(Electrode of plies) | 8 |
| 氣體通道(Gsa) | 兩路工作氣體可選:Ar、N2、H2、CF4、O2 |
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