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晶圓等離子清洗機（等離子灰化/去光刻膠/聚合物剝離/預處理/介電質刻蝕
在線式自動真空等離子/進口等離子/攝像頭模組/芯片支架/芯片框架
線性等離子清洗機（低溫等離子清洗機 寬幅氮氣等離子 寬幅plasma
工作處理流程 ：
自動裝載→產品引到真空室→關閉真空室及抽真空度→前處理→真空清洗→產品推出→卸載
| 電極配置和氣體流量 | |
| 保證良好的氣體流動系統及均勻的等離子體生成系統 | |
| 通過強力排氣及消除污染，*消除殘留物 | |
| 射頻發生器 | |
| 頻率 | 13.56Hz |
| 輸出功率 | １０００W Max |
| 配備自動匹配系統以大限度地減少反射功率 | |
| 真空系統 | |
| 真空干泵/油泵 | |
| 安全 | |
| 緊急停止按鈕,關閉所有功率和氣體流量 | |
| 射頻發生器互鎖 | |
| 室門關閉檢測 | |
| 安全玻璃檢查觀點 | |
| 電磁輻射抑制 | |
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